Geological Knowledge Entry
Structured scientific knowledge about geological data, references, and research.
Vrstični elektronski mikroskop z energijsko disperzijskim spektrometrom (SEM/EDS)
Persistent URL: https://w3id.org/egdi/resource/43
Description
Celoten sistem sestavljajo: - SEM (JEOL JSM 6490LV): vakuumska komora za vzorec, stolp z izvorom elektronov (W katoda), elektromagnetne leče in odklonske tuljave ter detektorji signalov (SE, BSE) - EDS (INCA PentaFETx3 detektor in INCA Energy 350 mikroanalizni sistem) - Sistem za pripravo vzorcev Baltec SCD 050 Princip delovanja SEM/EDS: Pri interakciji izostrenega snopa elektronov, ki se premika po vzorcu, in atomov v vzorcu nastanejo različni signali, kot so sekundarni elektroni(SE), povratno sipani elektroni(BSE) in RTG-žarki, ki dajejo različne informacije o vzorcu: - SE dajejo sliko površine vzorca - BSE so odvisni od atomskega števila elementov v vzorcu in dajejo sliko relativne kemijske sestave vzorca. - RTG-žarki dajejo informacije o elementni sestavi vzorca. Pripravi vzorcev pred analizo je namenjen sistem Baltec SCD 050 za naprševanje z zlatom in naparevanje z ogljikom Tehnični podatki: - ločljivost: visoki vakuum: 3,0 nm (30 kV), 8,0 nm (3 kV), 15 nm (1 kV); nizki vakuum: 4,0 nm (30 kV) - povečava: ×5 - ×300.000 - pospeševalna napetost: 0,3 kV - 30 kV - premik mizice za vzorce: X: 125 mm, Y: 100 mm, Z: 5 mm – 80 mm, nagib: −10° - +90°, vrtenje: 360° - tlak v nizko vakuumskem načinu: 1 - 270 Pa - EDS detektor: Si(Li), 30 mm2 površina detektorja, ločljivost 133 eV pri MnKa, ultra tanko polimerno okno (ATW2) detektorja